lintec液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間：2023-08-04　點(diǎn)擊量：1042

lintec液體質(zhì)量流量控制器原理及產(chǎn)品特點(diǎn)

液體質(zhì)量流量控制器原理

液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動(dòng)控制儀器，液體質(zhì)量流量計(jì)是測(cè)量液體質(zhì)量流量的儀器。

質(zhì)量流量控制器利用熱容量和流量控制閥的PID控制，通過質(zhì)量流量測(cè)量原理調(diào)節(jié)開度，自動(dòng)控制質(zhì)量流量。

液體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn) 【林泰克】

LINTEC的液體質(zhì)量流量（質(zhì)量流量控制）是液體質(zhì)量流量控制的先驅(qū)，它是為響應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)TEOS等液體汽化供應(yīng)技術(shù)的需求而在開發(fā)的。

液體質(zhì)量流量控制

液體的流量測(cè)量包括體積流量和流速測(cè)量，從精度和穩(wěn)定性的角度來看，具有微小流量的液體質(zhì)量流量控制器（質(zhì)量流量控制）已成為半導(dǎo)體成膜過程中不可缺的技術(shù)。

高精度

在半導(dǎo)體制造過程中，在價(jià)格和處理能力上優(yōu)于氣體的TEOS等液體源被蒸發(fā)并沉積薄膜。在制造工藝方面，供應(yīng)量很大，許多最新的原材料都是低蒸氣壓的材料。在傳統(tǒng)的燃?xì)釳FC焙燒方法中，供應(yīng)量和耐熱溫度是瓶頸，因此需要溫度約束少且供應(yīng)量大的直接汽化方法。但是，在直接汽化方法中，反應(yīng)氣體的流速控制在液相中，因此小誤差會(huì)極大地影響反應(yīng)。

以H 2 O為例，當(dāng)1ml液相在理想狀態(tài)下汽化時(shí)，膨脹到1，244ml。它已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備不可缺的技術(shù)，當(dāng)需要對(duì)微小流量進(jìn)行高精度流量控制時(shí)，它控制液體流速并汽化和反應(yīng)。

穩(wěn)定性

1 ml/min 或更低的流量控制裝置包括計(jì)量泵，但計(jì)量泵連續(xù)執(zhí)行機(jī)械開關(guān)操作，這會(huì)導(dǎo)致脈動(dòng)。沒有機(jī)械開關(guān)的注射泵不會(huì)脈動(dòng)，但泵的體積有限，因此不適合連續(xù)進(jìn)料。

此外，當(dāng)將液體引入具有受控流量的真空裝置時(shí)，由于計(jì)量泵的壓差，流量無法穩(wěn)定。

液體質(zhì)量流量控制器的流量控制是將加壓到恒定壓力的液體如氣體引入液體質(zhì)量流量控制器中，用內(nèi)部流量傳感器檢測(cè)瞬時(shí)流量，并不斷控制閥門開度，使流量無論二次側(cè)減壓還是大氣壓都能控制在恒定水平。