超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用

發(fā)布時間：2024-01-19　點擊量：654

超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用

超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器，可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。

響應(yīng)速度極快，可以實時監(jiān)測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項?？梢跃_測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。

球聲表面波傳感器的測量原理

① 叉指換能器（IDT）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán)，對所涂
敏感膜的微小變化做出反應(yīng) 通過異形電極進(jìn)行檢測
④ 通過積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換。

介紹示例/應(yīng)用

半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
（主要是前端工藝）
蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程
工業(yè)氣體制造商

產(chǎn)品陣容

響應(yīng)速度極快，可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化，這對于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體，當(dāng)天然氣等成分出現(xiàn)波動時，可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。